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高精密勻膠機 SC200-SE

更新時間:2019-03-28  |  點擊率:697

高精密勻膠機型號:SC200-SE

主要性能指標: 
主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)  
旋涂程序:多存100組程序,每組100步,每個步驟可到0.1秒  
轉(zhuǎn)動速度:0-5,000rpm(更高速可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm  
旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(更高可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s  
馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm  
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm,重復(fù)性< 1rpm  
工藝時間設(shè)定: 0-3,000 sec/step,時間設(shè)置精度:0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-300mm(12“圓晶)  
旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量) 


產(chǎn)品特性優(yōu)點: 
新的內(nèi)部緊湊設(shè)計,縮小了設(shè)備的尺寸。  
7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。  
Telon ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計可適合各種材料勻膠工藝。  
標準配置轉(zhuǎn)速5000rpm,并可根據(jù)用戶需要進行定制。 
采用工業(yè)級別伺服電機,電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。  
機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,生銹,便于清洗。  
排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。  
透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時*隔光阻的溢出及有效隔有毒氣味的散發(fā)。 


產(chǎn)品外型尺寸: 
     613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)  

 

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